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碳化硅的起源和發展

碳化硅是由美國人艾奇遜在1891年電熔金剛石實驗時,在實驗室偶然發現的一種碳化物,當時誤認為是金剛石的混合體,故取名金剛砂,1893年艾奇遜研究出來了工業冶煉碳化硅的方法,也就是大家常說的艾奇遜爐,一直沿用至今,以碳質材料為爐芯體的電阻爐,通電加熱石英SIO2和碳的混合物生成碳化硅。

       關于碳化硅的幾個事件

1905 第一次在隕石中發現碳化硅

1907 第一只碳化硅發光二極管誕生

1955 理論和技術上重大突破,LELY提出生長高品質碳化概念從此將SIC作為重要的電子材料

1958 在波士頓召開第一次世界碳化硅會議進行學術交流

1978 六、七十年代碳化硅主要由前蘇聯進行研究。到1978年首次采用“LELY改進技術的晶粒提純生長方法

 

 

 

 

 

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